МИЭТ победил в конкурсе грантов Федеральной научно-технической программы развития синхротронных и нейтронных исследований и исследовательской инфраструктуры на 2019 – 2027 годы.
Проект-победитель «Разработка и исследование перспективных материалов и наноструктур для технологии безмасочной рентгеновской нанолитографии, применимой к созданию новой компонентной базы микро- и наноэлектроники с использованием источника синхротронного излучения» разработан командой ЦКП «Микросистемная техника и электронная компонетная база».
«Концепция безмасочной рентгеновской нанолитографии на базе источника синхротронного излучения является новой и не имеет мировых аналогов. Освоение данной технологии может обеспечить формирование топологических элементов с размерами вплоть до уровня 10 нм. Ключевым элементом такого литографического процесса является «электронная» маска, обеспечивающая динамическое изменение топологии шаблона по заданному закону. Нашими основными участниками и партнерами в рамках проекта станут Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт» и Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской Академии наук (ИПФ РАН)», – рассказал проректор МИЭТ по научной работе Сергей Гаврилов.
Свыше 80 человек пройдут специальную подготовку и пройдут обучение по дополнительным программам. Например, «Синхротронное излучение в исследовании материалов и технологии микроэлектроники». На обучение будут приглашаться молодые специалисты, работающие на европейских источниках. Основная цель – совместная научная и просветительская деятельность.