Российские ученые в Зеленограде разрабатывают оборудование для создания отечественной технологической цепочки производства микроэлектроники. В течение трех лет они планируют создать технологический накопительный комплекс и опытный образец ионного синхротрона для производства микросхем. Об этом сообщает RG.ru.
Накопительный комплекс будет использоваться для разработки и тестирования литографов для печати микросхем, что важно для автономного производства в России. Ученые восстановят ранее созданный комплекс из 1990-1991 годов за три года работы с затратами около полумиллиарда рублей. Также в процессе создания оборудования будет уделено внимание созданию промышленного ускорителя ионов для отечественного имплантора, необходимого для введения химических элементов в пластину полупроводника при создании микросхем.